大直径单晶体生长控制系统研制

• 作者: LIU Jun-cheng 宋德杰
• 来源期刊: 科技与创新
• 关键词: 单晶体生长 滚珠丝杠 控制系统 嵌入式单片机
• 年，卷（期）: 2008,（22）
• 所属期刊栏目: 控制系统
• 页码范围: 58-59,237
• 页数: 3页
• 分类号: TM306
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-0570.2008.22.023

摘要

本文研制开发了一种大直径单晶体生长控制系统,主要部件采用稀土永磁直流力矩测速机组,滚珠丝杠,嵌入式单片机、交流伺服电机等.提出了一种用单片机和D/A转换器实现交流伺服电机多波形控制的优化算法,提高了控制精度,简化了编程方案.试验证明它性能可靠,工作稳定,是较完美的大直径单晶体生长控制系统.现已正式投入使用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋德杰		12	27	3.0	5.0
2	LIU Jun-cheng		1	2	1.0	1.0