基于RBF网络的半导体扩散炉温度控制建模研究

• 作者: HU Rong-yu LIU Chuan-qing 王培元 蔡兵
• 来源期刊: 科技与创新
• 关键词: 半导体扩散炉 RBF神经网络 PID温度控制
• 年，卷（期）: 2008,（22）
• 所属期刊栏目: 软件天地
• 页码范围: 310-311
• 页数: 2页
• 分类号: TP273.5
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-0570.2008.22.127

摘要

针对半导体扩散炉温度控制问题,提出采用RBF神经网络控制方法.RBF神经网络采用3-8-3结构.建模表明,此RBF网络数学模型具有良好的控制品质.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	HU Rong-yu	襄樊学院物理与电子信息技术系	1	1	1.0	1.0
2	LIU Chuan-qing	襄樊学院物理与电子信息技术系	1	1	1.0	1.0