Pyrex/A1多层静电键合界面力学特征分析

• 作者: 刘翠荣 孟庆森 马秋平
• 来源期刊: 功能材料信息
• 学科: 工学
• 关键词: 静电键合 Pyrex 铝箔 残余应力 有限元分析
• 年，卷（期）: gnclxx_2009,（1）
• 页数: 4页
• 分类号: TG111

摘要

采用公共阳极法实现了多层Pyrex玻璃与铝箔晶片的静电键合,采用MSC.MARC非线性有限元分析软件,对两层和3层Pyrex/Al键合件的界面残余应力及变形等力学特征进行对比分析。由于玻璃/铝/玻璃3层阳极键合试件的对称结构,键合界面附近的残余应力和应变均呈对称分布而有利于减缓变形。试件最大等效应力值均位于靠近连接界面的过渡层,使该部位成为阳极键合的薄弱环节。研究结果对于MEMS器件的精密封装工艺质量控制具有重要的意义。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孟庆森		92	422	11.0	16.0
2	刘翠荣		7	27	3.0	5.0
3	马秋平		2	0	0.0	0.0