改良西门子法多晶硅还原新技术研究进展

• 作者: 丁国江 廖敏 曾亚龙
• 来源期刊: 四川有色金属
• 学科: 工学
• 关键词: 三氯氢硅 粒状多晶硅 还原 流化床 气液沉积
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 综合评述
• 页码范围: 1-4
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.1+2
• 字数: 1824字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-4079.2009.02.001

摘要

在日益激烈的国际竞争环境下,传统改良西门子法多晶厂商发展成本更低的替代技术势在必行.本文简单介绍了国外公司的三氨氢硅流化床技术和气液沉积法技术;其中三氯氢硅流化床技术能充分利用现有改良西门子法的全部产品流程,对改良西门子法多晶厂商更具参考意义.