SECM微纳米定位建模及控制器设计

• 作者: 张栋 张玉林 李现明 魏强
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描电化学显微镜 压电工作台 运动定位 控制器 迟滞模型
• 年，卷（期）: 2009,（7）
• 所属期刊栏目: 显微、测量、微细加工技术与设备
• 页码范围: 428-432
• 页数: 5页
• 分类号: TH742
• 字数: 2967字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2009.07.008

摘要

为适应扫描电化学显微镜(SECM)常规应用中100 nm左右的微定位精度需求,同时降低其微定位控制器的成本,在分析SECM压电工作台运动定位数学模型的基础上,结合SECM实际应用中的特点,将压电工作台数学模型进行了合理的简化,并在此基础上设计了算法简单且易于实现的开环微定位控制器.以CH1900B型扫描电化学显微镜的三维压电工作台为实验对象进行建模和控制器设计,实验结果表明,压电工作台运动定位平均跟踪误差和最大跟踪误差分别为0.093、0.115μm,误差约0.1 μm,可满足SECM常规应用中的微定位精度需求.建模过程和控制器设计简单易行且无须额外的微定位传感器,适于SECM的常规应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张玉林	山东大学控制科学与工程学院	56	465	11.0	19.0
2	李现明	山东大学控制科学与工程学院	16	76	4.0	8.0
3	张栋	山东大学控制科学与工程学院	47	231	7.0	13.0
4	魏强	泰山学院物理与电子科学系	27	240	9.0	15.0