MEMS微电容式传感器的传感特性研究

• 作者: 刘玉红 杨要恩 王庆敏 苏木标
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS传感器 静态传感特性 动态传感特性 线性度 灵敏度
• 年，卷（期）: 2009,（10）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 1396-1400
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 字数: 2574字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2009.10.006

摘要

针对传统的传感器无法进行长期健康监测的不足,研发出一套新型的基于MEMS的硅微电容式传感器.对所研制的MEMS传感器的静态传感特性和动态特性进行了理论分析和对比实验研究.结果表明:MEMS硅微电容式传感器在反复加卸载实验中,线性拟和度均在0.999%F.S以上,灵敏度系数为6.9840με/kN,其重复性误差为1.43%F.S;其动态传感特性与传统的加速度计吻合的很好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王庆敏	石家庄铁道学院河北省大型结构健康诊断与控制重点实验室	23	130	7.0	11.0
2	苏木标	石家庄铁道学院河北省大型结构健康诊断与控制重点实验室	67	763	15.0	25.0
3	杨要恩	石家庄铁路工程职业技术学院机电系	11	61	4.0	7.0
4	刘玉红	石家庄铁道学院河北省大型结构健康诊断与控制重点实验室	10	135	7.0	10.0