两步化学沉积法制备ZnO薄膜及其场发射特性

• 作者: 姚宁 张兵临 王爱华 秦玉华 马毓堃 高知丰
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: ZnO薄膜 两步化学法 场发射
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 页码范围: 368-372
• 页数: 5页
• 分类号: TN873.95
• 字数: 2623字
• 语种: 中文

摘要

在低温常压条件下,以ITO玻璃为衬底,采用电化学法与湿化学法结合的两步化学沉积法制备了团簇状ZnO薄膜.利用XRD,SEM分析了薄膜结构和表面形貌,并采用二极管结构在高真空条件下对薄膜进行了场发射性能测试.稳定发射后,开启电场为3.0 V/μm.当电场为5.8 V/μm时,电流密度为583.3 μA/cm2.研究表明:两步化学沉积法低温制备ZnO薄膜是可行的,且该薄膜具有良好的场发射性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王爱华	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	11	25	2.0	4.0
2	姚宁	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	122	692	12.0	18.0
3	张兵临	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	95	608	12.0	18.0
4	秦玉华	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	3	8	2.0	2.0
5	高知丰	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	5	8	2.0	2.0
6	马毓堃	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	1	6	1.0	1.0