毫米波MEMS移相器及在相控阵中的应用

• 作者: 傅佳辉 吴群 孟建新 贺训军
• 来源期刊: 航空科学技术
• 学科: 航空航天
• 关键词: 毫米波 MEMS 移相器 相控阵
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 航空科学基金
• 页码范围: 25-29
• 页数: 5页
• 分类号: V2
• 字数: 3829字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-5453.2009.02.008

摘要

通过对MEMS移相器的分析,设计了一种采用绝缘介质层与锯齿形共面波导结构的新型毫米波MEMS移相器,有效提高了移相器的单桥相移量并降低了器件的反射损耗.设计了一种适合于分布式MEMS传输线移相器的芯片微封装结构和结构制备工艺,该器件的插入损耗、反射损耗和相移均达到最佳值,且相移量具有非常好的线性关系.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	傅佳辉		21	220	7.0	14.0
2	吴群		77	471	10.0	16.0
3	贺训军		6	27	3.0	5.0
4	孟建新		1	3	1.0	1.0