退火对无氢钛掺杂类金刚石(Ti-DLC)膜结构及性能的影响

• 作者: 严一心 刘衡平 徐均琪 李传志
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 类金刚石膜 非平衡磁控溅射 钛掺杂 复合靶 热稳定性
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 29-32
• 页数: 4页
• 分类号: O484.4|TB43
• 字数: 2936字
• 语种: 中文

摘要

利用非平衡磁控溅射复合靶技术制备了一系列掺钛的无氢类金刚石(Ti-DIE)薄膜,并对薄膜的热稳定性能、机械性能、应力分布以及表面形貌进行了研究.实验结果表明:退火处理对Ti-DIE膜的性能具有重要影响.随着热处理温度的升高,成膜晶粒逐渐细化,电阻率上升但至一定值后趋于稳定.退火温度的升高,会促使薄膜应力逐渐减小,硬度变低,但其耐火温度可以达到600℃以上而不发生石墨化,这一结果为DLC膜在高温环境下的应用提供了一定思路.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐均琪	西安工业大学光电工程学院	87	611	13.0	20.0
2	李传志	西安工业大学光电工程学院	4	9	2.0	3.0
3	严一心	西安工业大学光电工程学院	43	232	9.0	12.0
4	刘衡平	西安工业大学光电工程学院	3	11	2.0	3.0