沉积温度影响有机太阳能电池阳极薄膜结晶性能

• 作者: 何翔 孙奉娄 钟志有 顾锦华
• 来源期刊: 中南民族大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 有机太阳能电池 阳极 结晶性能
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: 化学与材料科学
• 页码范围: 33-37
• 页数: 5页
• 分类号: TM914
• 字数: 2625字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-4321.2009.04.007

摘要

采用射频磁控溅射工艺,以氧化锌铝(AZO)陶瓷靶作为靶材,通过优化工艺参数在玻璃基板上制备了具有c轴择优取向的AZO透明导电薄膜.基于X射线衍射(XRD)测试表征,研究了沉积温度对薄膜结晶性能的影响.实验结果表明:AZO薄膜的结晶性能与沉积温度密切相关,较低温度时,随着沉积温度的升高,薄膜的结晶性能得到提高,但是沉积温度进一步升高时却有所变差.当沉积温度为400 ℃时,AZO薄膜的结晶性能最佳,c轴取向良好,晶粒尺寸接近40 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙奉娄	中南民族大学电子信息工程学院	76	434	13.0	15.0
2	何翔	中南民族大学电子信息工程学院	62	386	11.0	15.0
3	钟志有	中南民族大学电子信息工程学院	67	360	11.0	14.0
4	顾锦华	中南民族大学计算与实验中心	33	183	9.0	12.0