微磨料空气射流加工玻璃微流道结构研究

• 作者: 宋月贤 王军 王成勇 邱燕飞
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微磨料空气射流 微流道 掩膜 加工轮廓
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 页码范围: 32-37
• 页数: 6页
• 分类号: TG74
• 字数: 2376字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-852X.2009.03.008

摘要

采用微磨料气射流加工技术(MAJM),对普通硅酸盐玻璃进行微流道槽加工.对通过掩膜加工与非掩膜加工效果相比较,得出在掩膜加工过程中,由于磨料的二次反弹冲蚀作用,所加工出的槽,槽壁较陡;在掩膜加工过程中,改变喷射距离、喷射压力、喷嘴移动速度和磨料流量四个加工参数,对加工槽的轮廓、加工过程中的材料去除率、磨料的流量效应进行研究,得出当喷射距离为4 mm,喷射压力为0.5 MPa,喷嘴移动速度为1.0 mm/s,磨料流量为0.117 g/s时,加工效果最好.通过倾斜喷射与掩膜加工相结合,研究了磨料磨粒的二次反弹冲蚀现象,为复杂三维微结构的加工,提供了一种新方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王成勇	广东工业大学机电学院	186	2516	26.0	39.0
2	邱燕飞	广东工业大学机电学院	1	10	1.0	1.0
3	宋月贤	广东工业大学机电学院	28	542	9.0	23.0
4	王军		3	31	3.0	3.0