离子束沉积Al2O3纳米薄膜微观结构及形貌研究

• 作者: 何丽静 张建军 林晓娉 王晓东 王铁宝
• 来源期刊: 材料热处理学报
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米薄膜 离子束沉积 掠入射衍射 退火
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 表面改性
• 页码范围: 166-169
• 页数: 4页
• 分类号: TG174.44
• 语种: 中文

摘要

采用离子束溅射方法在单晶Si(100)基片上沉积厚度为100nm的Al2O3薄膜,利用原子力显微镜、X射线光电子能谱、掠入射衍射等微观分析手段,研究了薄膜的表面形貌、粗糙度、成分,及退火后微观结构的变化.研究表明:室温沉积在基片上的纳米薄膜为非晶态,纳米颗粒为无方向性沉积,颗粒呈团球状,其成分基本满足Al2O3的标准成分配比.850℃×6h退火处理后,生成晶态的γ-Al2O3薄膜表面结晶完整,颗粒清晰可见.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林晓娉	河北工业大学材料科学与工程学院	44	189	7.0	11.0
2	王晓东	河北工业大学材料科学与工程学院	41	185	8.0	12.0
3	王铁宝	河北工业大学材料科学与工程学院	39	186	7.0	11.0
4	张建军	河北工业大学材料科学与工程学院	95	799	15.0	25.0
5	何丽静	河北工业大学材料科学与工程学院	3	9	2.0	3.0