流动数值模拟中GDQ方法的应用

• 作者: 徐斌 罗建斌 薛宏
• 来源期刊: 能源技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 库埃特流动 广义微分积分方法 蒙特卡罗直接模拟法
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 研究与探索
• 页码范围: 77-79,83
• 页数: 4页
• 分类号: TK124
• 语种: 中文

摘要

为了满足微电子机械系统的飞速发展,探讨了一种程序简单、计算成本较低的微尺度流动数值模拟新方法-广义微分积分方法.研究工作根据微尺度库埃特流动特点对N-S方程加以改进,建立起相应的理论模型,采用这个模型流动模拟能拓宽到滑移流动区和过渡流动区.然后采用广义微分积分方法来进行流场数值模拟,并用蒙特卡洛直接模拟方法(DSMC)加以验证,结果表明利用新建理论模型的模拟结果与验证结果基本吻合,但是也发现随着努森数的增加两者的误差增加,表明新建理论模型还有必要进一步完善.