双层声波导乐甫波传感器的质量敏感度分析

• 作者: 何世堂 李红浪 陈烨
• 来源期刊: 应用声学
• 学科: 物理学
• 关键词: 双层声波导 乐甫波传感器 频散方程 质量敏感度
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 121-124
• 页数: 4页
• 分类号: O4
• 字数: 1269字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-310X.2009.02.008

摘要

本文推导了双层声波导结构乐甫波传感器的频散方程和质量敏感度.首先,根据连续边界条件求解声波波动方程,并推导双层声波导结构下乐甫波传播的频散方程;然后根据微扰理论推导乐甫波传感器的质量敏感度.文中并最后给出基于ST-90°X石英基片的乐甫波传感器的算例分析.基片表面依次覆盖二氧化硅和金两层声波导,根据上述推导式子计算出乐甫波相速度及质量敏感度随着声波导层厚度变化的特性.结果表明:声波导层厚度增加时,乐甫波相速度减小,乐甫波模式增多,控制波导层厚度可以获得单一的乐甫波模式;选择波导层的厚度,乐甫波传感器可获得最大质量敏感度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈烨	中国科学院声学研究所	5	12	2.0	3.0
2	李红浪	中国科学院声学研究所	29	61	4.0	5.0
3	何世堂	中国科学院声学研究所	74	236	8.0	12.0