MPCVD法金刚石薄膜的生长影响因素

• 作者: 芦宝娟
• 来源期刊: 贵州科技工程职业学院学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 微波等离子 化学气相沉积 金刚石薄膜 乙醇
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 页码范围: 9-11
• 页数: 3页
• 分类号: O344.3

摘要

金刚石具有许多优异的性能，但天然金刚石的价格也比较昂贵。金刚石薄膜的各种性质与天然金刚石几乎相同，具有非常广阔的工业前景。本文采用乙醇和氢气作为工作气源，利用微波等离子体化学气相沉积法，在较低的温度下制备了金刚石薄膜，并研究了反应气压对金刚石薄膜生长的影响。

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1	芦宝娟		2	0	0.0	0.0