石英晶体中的腐蚀隧道缺陷

• 作者: 华大辰 李建保 李法荟 王晓刚
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 石英晶体 腐蚀隧道 位错 晶体生长
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 页码范围: 71-73
• 页数: 3页
• 分类号: O77
• 字数: 1638字
• 语种: 中文

摘要

石英晶体中的腐蚀隧道缺陷是晶体结构中位错的宏观表现.腐蚀隧道缺陷不仅影响石英加工过程,由于石英晶体元器件常处于冲击、振动、温度变化、辐射等的环境中,腐蚀隧道缺陷也大大影响元器件的性能,降低结构强度.本文对腐蚀隧道进行了比较系统的分析,提出了减少、抑制晶体中腐蚀隧道缺陷的技术手段.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李建保	清华大学材料科学与工程系	72	992	16.0	29.0
2	王晓刚		4	10	2.0	2.0
3	李法荟	清华大学材料科学与工程系	3	13	2.0	3.0
7	华大辰		2	3	1.0	1.0