一种新型MEMS离面驱动器的设计与分析

• 作者: 任豪 姚军 胡放荣 邱传凯
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 静电排斥驱动器 蛇形弹簧梁 模态 行程 带宽
• 年，卷（期）: 2009,（9）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术
• 页码范围: 546-550,556
• 页数: 6页
• 分类号: TP211.6|TH703
• 字数: 2270字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2009.09.007

摘要

提出了一种基于静电排斥效应的MEMS离面驱动器,在消除静电拉入效应的同时得到了较大的静电排斥力.驱动器主要由三个下极板、一个上极板和弹簧梁组成.首先进行了静电排斥现象原理的分析,然后对弹簧梁中有和没有横梁时的弹性系数和模态进行了详细分析和对比,最后对驱动器的行程、驱动力、频率响应和带宽等性能进行了分析.结果表明,存在横梁时结构更加稳定,施加200 V电压时,结构有2.5μm的位移和28μN的驱动力,而且带宽约为7 kHZ.该驱动器可运用于光通信和空间光调制等领域.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邱传凯	中国科学院光电技术研究所微细加工与光学技术国家重点实验室	23	186	9.0	12.0
2	姚军	中国科学院光电技术研究所微细加工与光学技术国家重点实验室	32	355	11.0	18.0
3	任豪	中国科学院光电技术研究所微细加工与光学技术国家重点实验室	2	3	1.0	1.0
7	胡放荣	中国科学院光电技术研究所微细加工与光学技术国家重点实验室	3	29	2.0	3.0