高温超导氧化物YBCO掺锆酸钡薄膜的制备及其结构分析

• 作者: 傅瑶 叶志清 张兴娇 杜国平
• 来源期刊: 低温物理学报
• 关键词: YBCO BZO PLD 高温超导薄膜
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 页码范围: 33-36
• 页数: 4页
• 语种: 中文

摘要

本文用脉冲激光溅射沉积法(PLD)在LaAlO3(100)基片上外延生长YB%Cu307-δ掺锆酸钡(BZO)薄膜.用X射线衍射、透射电镜对薄膜结构进行分析.探索PLD沉积的最佳实验参数,最佳沉积温度为800℃,最佳氧分压为25 Pa,最佳沉积频率为3 Hz.