TiN-TiN/CrN-CrN薄膜的制备及应用研究

• 作者: 张欣苑 文季秋 梁红樱 王辉 赵海波
• 来源期刊: 工具技术
• 学科: 工学
• 关键词: 辅助增强磁控溅射 CrN薄膜 制备 方法
• 年，卷（期）: 2009,（10）
• 所属期刊栏目: 试验与研究
• 页码范围: 14-18
• 页数: 5页
• 分类号: TG706
• 字数: 2752字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7008.2009.10.003

摘要

通过采用辅助增强磁控溅射方法,研究了在硬质合金刀片上制备TiN-TiN/CrN-CrN薄膜的工艺方法.利用SEM、XRD等方法分析了Cr靶溅射电流、N2气量的变化对TiN-TiN/CrN-CrN膜的表面形貌及结构和织构影响,采用断续切削试验方法研究了TiN-TiN/CrN-CrN涂层刀片的耐磨性及抗剥落性,得出了一种TiN-TiN/CrN-CrN薄膜工业化制备方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	文季秋		6	47	3.0	6.0
2	王辉	四川大学分析测试中心	52	273	9.0	15.0
3	梁红樱		9	80	3.0	8.0
4	赵海波		26	175	7.0	12.0
5	张欣苑		8	101	5.0	8.0