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摘要:
由于硅与玻璃阳极键合需要在相对较高的温度下进行,因此材料之间会因热膨胀系数失配而产生较大的热应力,该应力对压力传感器的性能影响较大.对采用单晶硅横膈膜作为敏感膜与玻璃环阳极键合形成压力参考腔的封装,用有限元方法对硅玻璃环键合后因温度变化所产生的应力分布进行了系统仿真分析,并采用泰曼一格林干涉仪对键合后硅片的变形进行测量.测量结果显示硅膜的挠度为283 nm,测量结果与仿真结果基本一致.
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关键词热度
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文献信息
篇名 硅压力传感器中硅玻璃阳极键合的热应力分析
来源期刊 光学与光电技术 学科 工学
关键词 阳极键合 热应力 有限元分析 干涉法
年,卷(期) 2009,(3) 所属期刊栏目 光纤与光通信
研究方向 页码范围 33-36
页数 4页 分类号 TN212.14
字数 1559字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1672-3392.2009.03.009
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 王鸣 南京师范大学物理科学与技术学院江苏省光电技术重点实验室 91 636 14.0 20.0
2 张强 南京师范大学物理科学与技术学院江苏省光电技术重点实验室 23 214 9.0 14.0
3 戎华 南京师范大学物理科学与技术学院江苏省光电技术重点实验室 15 73 5.0 8.0
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研究主题发展历程
节点文献
阳极键合
热应力
有限元分析
干涉法
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
光学与光电技术
双月刊
1672-3392
42-1696/O3
大16开
武汉市阳光大道717号
38-335
2003
chi
出版文献量(篇)
2142
总下载数(次)
3
总被引数(次)
9791
相关基金
江苏省自然科学基金
英文译名:Natural Science Foundation of Jiangsu Province
官方网址:http://www.jsnsf.gov.cn/News.aspx?a=37
项目类型:
学科类型:
论文1v1指导