Y2O3薄膜热应力分布的有限元模拟

• 作者: 刘其军 刘正堂 唐斌 闫锋
• 来源期刊: 中山大学研究生学刊：自然科学与医学版
• 学科: 物理学
• 关键词: 热应力 Y2O3 有限元
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 页码范围: 72-77
• 页数: 6页
• 分类号: O484.41

摘要

对采用射频磁控溅射法制备的Y2O3红外光学薄膜的热应力进行了分析，随着沉积温度的升高，薄膜内热应力变大；并通过计算机对热应力分布进行了模拟，剪切力随沉积温度升高而变大，且在薄膜边缘处具有极大值。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘正堂	西北工业大学材料学院	120	749	14.0	21.0
2	刘其军	西北工业大学材料学院	27	69	5.0	7.0
3	唐斌	西北工业大学材料学院	41	217	9.0	12.0
4	闫锋	西北工业大学材料学院	12	46	4.0	6.0