基于阶跃响应的加速度计Q值测试方法研究

• 作者: 张灵霖 李玉芳 王跃林 车录锋
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: Q值 静电激励 阶跃响应 等效电刚度
• 年，卷（期）: 2009,（10）
• 所属期刊栏目: 传感器信号处理
• 页码范围: 1417-1421
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.07
• 字数: 2947字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2009.10.010

摘要

随着电容式加速度传感器的广泛使用,对其品质因子、谐振频率等关键参数的器件级测试显得尤为重要.本文提出了一种简单有效的加速度计品质因子测试方法--阶跃响应测试法,详细分析了其测试原理及测试结果,并与传统的静电激励扫频测试法进行了对比.结果表明:两种测试方法中等效电刚度的不同,造成了测试结果的差异.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王跃林	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室	84	623	14.0	18.0
2	车录锋	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室	38	363	11.0	16.0
3	张灵霖	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室	1	2	1.0	1.0
7	李玉芳	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室	11	91	4.0	9.0