MPCVD掺硼金刚石薄膜的制备及Ti/BDD 电极上对硝基酚的阳极氧化测试

• 作者: 倪晋仁 吕反修 朱秀萍 贺琦 陈广超 高旭辉 魏俊俊
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: Ti/BDD电极 微波等离子体 化学气相沉积 对-硝基酚 阳极氧化
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 页码范围: 422-425
• 页数: 4页
• 分类号: TB43
• 语种: 中文

摘要

采用微波等离子体技术在CH4-H2-C2H6气体条件下制备了钛基掺硼金刚石薄膜.四点探针法测得薄膜电阻率在零掺杂时为1×1012Ω*cm ,当反应气源中B/C上升为5×10-3时电阻率降至5×10-3 Ω*cm.扫描电镜显示掺硼金刚石具有完整晶型和致密结构.拉曼光谱观察到金刚石结构在掺杂前后发生明显改变.采用循环伏安测试了Ti/BDD电极的电化学参量,并与PbO2, Sn-Sb and PbO2-Er三种电极进行阳极氧化对-硝基酚的对比实验.结果表明,在Ti/BDD电极上,对-硝基酚的总有机碳去除率接近100%,远高于其它三种电极.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	倪晋仁	北京大学环境资源工程学院	150	3799	34.0	52.0
2	吕反修	北京科技大学材料科学与工程学院	151	1208	18.0	24.0
3	魏俊俊	北京科技大学材料科学与工程学院	32	112	5.0	9.0
4	贺琦	北京科技大学材料科学与工程学院	11	87	5.0	9.0
5	高旭辉	北京科技大学材料科学与工程学院	6	53	3.0	6.0
6	陈广超	北京科技大学材料科学与工程学院	27	235	9.0	14.0
7	朱秀萍	北京大学环境资源工程学院	2	46	2.0	2.0