快速热处理对BaSrTiO3薄膜微结构的影响

• 作者: 张雪峰 李会容 武昭妤
• 来源期刊: 材料工程
• 关键词: BaSrTiO3薄膜 晶化 快速热处理 XRD AFM
• 年，卷（期）: 2009,（9）
• 所属期刊栏目: 工艺
• 页码范围: 16-19
• 页数: 4页
• 分类号: TB33
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4381.2009.09.005

摘要

采用射频溅射法在Si基片上制备BaSrTiO3(BST)薄膜,利用X射线衍射和原子力显微镜(AFM)研究了快速热处理温度和时间对BaSrTiO3薄膜微结构的影响.结果表明:BST薄膜的衍射峰强度和结晶度随退火温度的升高而提高.随退火温度的升高,BST薄膜的表面粗糙度经历先降低后增大的过程,而BST薄膜的晶粒尺寸单调减小.当退火温度为700℃时,随退火时间的增加,BST薄膜的晶粒尺寸几乎不发生变化,而表面粗糙度单调减小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李会容	攀枝花学院电气信息工程学院	26	70	4.0	7.0
2	张雪峰		1	1	1.0	1.0
3	武昭妤		1	1	1.0	1.0