磁控溅射太阳能电池预镀Mo薄膜及其性能的研究

• 作者: 单玉桥 孙绍广 王有欣
• 来源期刊: 金属材料研究
• 学科: 工学
• 关键词: 太阳能电池 磁控溅射 MO薄膜
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 页码范围: 14-17
• 页数: 4页
• 分类号: TQ028.8

摘要

利用磁控溅射法在玻璃基片上进行了太阳能电池预镀层Mo薄膜的制备，研究了氩气分压、溅射功率、溅射时间等工艺条件对Mo膜性能及厚度的影响，并对Mo膜的物理性能及电学性能进行了研究。结果表明，Mo薄膜的厚度主要与溅射功率、氩气分压、溅射时间及靶间距有关；当氩气分压及靶功率一定时，Mo镀层的厚度与溅射时间近似地成正比关系。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	单玉桥		15	62	5.0	7.0
2	王有欣		10	24	2.0	4.0
3	孙绍广		2	12	1.0	2.0