热处理对TiAlCN涂层组织和性能的影响

• 作者: 张旭海 方峰 曾宇乔 江静华 蒋建清 陈倩栎
• 来源期刊: 材料热处理学报
• 学科: 工学
• 关键词: TIAlCN 热处理 硬度
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 表面改性
• 页码范围: 131-134
• 页数: 4页
• 分类号: TG174.44 TG156.1
• 语种: 中文

摘要

在Ar气条件下,对反应磁控溅射法制备的TiAlCN涂层进行500～1100℃热处理.采用XRD、Raman和DSC,研究不同热处理温度下涂层微观结构的变化,利用显微硬度计和划痕仪研究热处理对涂层性能的影响.结果表明,经600～800℃热处理后,涂层非晶碳相明显增加,使涂层形成纳米复合结构,这导致显微硬度显著增加,膜基结合性能增加;在900～1100℃热处理后,由于涂层中六方AlN相的析出,导致涂层显微硬度急剧下降,且韧性下降.