脉冲升压式准分子激光电源研究

• 作者: 余吟山 梁勖 游利兵 黄德文
• 来源期刊: 量子电子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 脉冲升压式电源 拉普拉斯变换 高重复率 光刻
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 激光技术与器件
• 页码范围: 39-43
• 页数: 5页
• 分类号: TN245
• 字数: 2146字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-5461.2009.01.007

摘要

针对光刻用准分子激光器的激励技术,利用拉普拉斯变换方程对脉冲变压器高压充电过程进行了分析,验证了耦合系数于与压缩高压充电时间的重要作用.耦合系数越接近于1,高压充电时间越短.介绍了充电电路与磁开关结合后完成快放电的过程,并提出了一种控制谐振充电的方法.实现了对高压电容50μs内的快充电.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	余吟山	中国科学院安徽光学精密机械所	29	165	9.0	11.0
2	游利兵	中国科学院安徽光学精密机械所	26	135	8.0	10.0
3	梁勖	中国科学院安徽光学精密机械所	27	113	6.0	9.0
4	黄德文	中国科学院安徽光学精密机械所	3	22	3.0	3.0