表面张力作用下抗粘附的微齿轮结构设计原理研究

• 作者: 刘世豪 单以才 章婷 胡中华
• 来源期刊: 工程设计学报
• 学科: 工学
• 关键词: 表面张力 粘附 微齿轮
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 工程设计理论、方法与技术
• 页码范围: 112-116
• 页数: 5页
• 分类号: TH132.41
• 字数: 3339字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3785/j.issn.1006-754X.2009.02.008

摘要

粘附是微机械中最常见的一种失效现象,一般的微机械结构都极力避免粘附的出现.表而张力是引起微结构粘附的最主要原因.深入研究了表面张力作用下使构件产牛粘附的物理机理.以多品硅微齿轮为例,考虑其在表面张力作用下发生的粘附现象,推导出表面张力作用下抗粘附多晶硅微齿轮结构参数设计公式.结果表明,微齿轮产牛粘附与材料特性(弹性特性,表面特性)、微齿轮结构参数(半径、齿宽)、微齿轮与基体之间的间隙有关.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	单以才	南京航空航天大学机电学院	50	125	6.0	8.0
3	胡中华	南京航空航天大学自动化学院	25	474	9.0	21.0
4	章婷	南京工程学院材料工程学院	23	145	8.0	11.0
6	刘世豪	南京航空航天大学机电学院	19	282	11.0	16.0