实用超高真空比对校准系统

• 作者: 李正海
• 来源期刊: 真空与低温
• 学科: 工学
• 关键词: 超高真空规 比对 校准
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 知识与进展
• 页码范围: 45-47
• 页数: 3页
• 分类号: TB77
• 字数: 2014字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7086.2009.01.010

摘要

介绍了一种实用超高真空相对比对校准系统.该装置具有结构简单、实用、不确定度小等优点,可以满足在10-7～10-5 Pa范围内超高真空规的比对校准.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李正海		10	110	5.0	10.0