聚合物前驱体法制备铌酸钾钠薄膜

• 作者: 刘培新 朱孔军 纪士东 胡秀兰 裘进浩
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 铌酸钾钠 草酸铵 薄膜 聚合物前驱体法
• 年，卷（期）: 2009,（9）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 61-65
• 页数: 5页
• 分类号: TH703.2
• 字数: 4248字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2009.09.017

摘要

以加入和不加入草酸铵两种方法制备氢氧化铌.以碳酸钾、碳酸钠和制得的氢氧化铌为原料,柠檬酸为螯合剂,乙二醇为酯化剂,通过聚合物前驱体法在SiO2/Si基板上制备了铌酸钾钠(KNN)薄膜.研究了草酸铵的添加和不同退火温度对KNN薄膜性质的影响.结果显示:在pH = 7.5,金属阳离子与柠檬酸摩尔比为1∶3,柠檬酸与乙二醇的摩尔比为2∶1时,可以获得均匀稳定的KNN前驱体溶胶.草酸铵的加入优化了薄膜的性能;随着退火温度的增加,薄膜的致密度越来越高.退火温度在850 ℃时,薄膜结晶性相对较好;900 ℃退火处理后,薄膜晶粒有定向生长趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	裘进浩		124	623	12.0	18.0
2	朱孔军		55	310	10.0	14.0
3	刘培新		2	6	1.0	2.0