激光诱导的光热技术在半导体检测中的应用

• 作者: 周鹰 张希仁 曾宏亮 王占平 高椿明
• 来源期刊: 光电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光电检测 半导体特性 光热技术 热波
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 所属期刊栏目: 专题介绍
• 页码范围: 211-215
• 页数: 5页
• 分类号: TN247
• 字数: 2710字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-488X.2009.03.017

摘要

综述了近些年来国内外半导体检测的光学技术研究的最新进展.重点阐述了基于光声光热效应的半导体检测技术的最新发展动态,其中分别对光热偏转(PTD)、光热调制反射(PMTR)、光热辐射(PTR)、光生载流子辐射(PCR)进行了详细介绍,最后提出了半导体检测技术的发展方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王占平	电子科技大学光电信息学院	19	135	8.0	11.0
2	高椿明	电子科技大学光电信息学院	40	167	7.0	10.0
3	周鹰	电子科技大学光电信息学院	31	161	8.0	10.0
4	张希仁	电子科技大学光电信息学院	5	25	3.0	5.0
5	曾宏亮	电子科技大学光电信息学院	4	25	3.0	4.0