前驱体制备与氮化还原法合成AIN粉的物相分析

• 作者: 何粲 刘杰 范仕刚 赵春霞 陈广乐
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 氮化铝粉体 物相分析 溶胶凝胶工艺
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 工艺与应用
• 页码范围: 45-47,50
• 页数: 4页
• 分类号: TG146.4
• 字数: 1912字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2009.02.013

摘要

采用溶胶凝胶工艺制备了铝源和碳源的均匀混合物,分析了铝源与碳源的比例对合成氮化铝物相的影响规律,研究表明,在一定的碳铝比范围内生成很纯的氮化铝粉体,比值较小时含有较多的氧化铝相,较大时含有的碳很难排除完全,并且也容易发生氮化铝粉体的氧化,使纯度降低.对铝源与碳源的混合物通过高温氮化还原煅烧处理,分析了煅烧温度与合成物相的关系,随着温度的提高,形成的氮化铝峰明显增强,直至合成纯的氮化铝相.并与氧化铝通过氮化还原法制备氮化铝粉体的煅烧温度进行了比较,明显降低了合成纯氮化铝粉体的煅烧温度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈广乐		3	18	3.0	3.0
2	范仕刚		4	32	4.0	4.0
3	赵春霞		1	4	1.0	1.0
4	刘杰		1	4	1.0	1.0
5	何粲		1	4	1.0	1.0