计及毛细力作用时旋转式MEMS/NEMS致动器的吸合稳定性

• 作者: 亢一澜 周丽军 郭建刚
• 来源期刊: 机械强度
• 关键词: 微/纳电子机械系统致动器 吸合 稳定性 毛细力
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 所属期刊栏目: 微电子机械系统
• 页码范围: 391-395
• 页数: 5页
• 分类号: TN303|O317
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9669.2009.03.010

摘要

建立旋转式MEMS/NEMS(micro-or nano-electro-mechanical system)致动器的单自由度力学模型,研究毛细力对该类致动器吸合时的临界倾角以及临界电压的影响.得到临界倾角随结构特征尺寸的变化曲线,并对临界电压进行修正.研究没有外加电压引起的静电力作用时,旋转式MEMS/NEMS致动器在毛细力作用下的失稳现象,给出致动器的失稳准则,以及失稳时致动器的临界特征几何尺度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	亢一澜	天津大学力学系	56	896	16.0	29.0
2	郭建刚	天津大学力学系	5	11	2.0	3.0
3	周丽军	天津工程师范学院机械系	4	26	2.0	4.0