非导电材料元素X-射线显微分析的补偿和校正方法

• 作者: 卫斌 史佳新 吉元 张虹 张隐奇 戴琳 王丽
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 环境扫描电镜(ESEM) X-射线能量分散谱(EDS) 荷电效应 非导电陶瓷
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 102-106
• 页数: 5页
• 分类号: TN16|TB771
• 字数: 3263字
• 语种: 中文

摘要

本文分析了在环境扫描电镜中,Al2O3等非导电陶瓷样品的荷电效应和环境压力对X-射线能谱仪(EDS)元素分析造成的影响.研究了相应的补偿和校正方法.在高真空模式下,荷电效应使氧含量明显增加.采用低真空模式(LV)消除了荷电效应和减小了表面电势,因而减小了EDS的测量误差.在LV模式中采用X-射线压力限制光阑(PLA)杯,减小了电子束的裙散效应,使EDS的测量误差进一步减小.较高的压力环境增加了对电子束和低能X-射线的散射作用,使EDS的测量误差明显增加.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吉元	北京工业大学固体微结构与性能研究所	42	159	7.0	9.0
2	张隐奇	北京工业大学固体微结构与性能研究所	24	92	5.0	7.0
3	王丽	北京工业大学固体微结构与性能研究所	133	1374	20.0	33.0
4	卫斌	北京工业大学固体微结构与性能研究所	8	19	3.0	4.0
5	戴琳	北京工业大学固体微结构与性能研究所	8	74	4.0	8.0
6	张虹	北京工业大学固体微结构与性能研究所	9	73	5.0	8.0
7	史佳新	北京工业大学固体微结构与性能研究所	3	16	2.0	3.0