sol-gel法制备掺Al的ZnO薄膜及其表面形貌表征

• 作者: 戴结林
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO薄膜 表面形貌 高度-高度相关函数 分形
• 年，卷（期）: 2009,（7）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 33-35
• 页数: 3页
• 分类号: O484
• 字数: 2632字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2009.07.011

摘要

用原子力显微镜,观察了sol-gel法制备之掺Al的ZnO薄膜的表面形貌,计算了薄膜的表面高度-高度相关函数H(r)-r,并用分形表面高度-高度相关函数的唯象表达式,对薄膜表面高度-高度相关函数进行拟合.结果表明:掺Al的ZnO薄膜表面具有典型的分形特征,Al掺杂量的增加和退火温度升高,使掺Al的ZnO薄膜的表面粗糙度w从1.39增大到5.47,分形维数D,由2.12减小到2.08,水平相关长度ξ从31.25增到76.17.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	戴结林	合肥师范学院物理与电子工程系	13	25	4.0	4.0