甲烷流量对高掺硼金刚石多晶薄膜形态生长的影响

• 作者: 姜辛 屈芳 庄春强 白亦真 贾福超 邢娇杨
• 来源期刊: 材料研究与应用
• 关键词: 掺硼金刚石 热丝CVD 扫描电子显微镜 拉曼光谱
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 页码范围: 28-31
• 页数: 4页
• 分类号: O484.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-9981.2009.01.007

摘要

在不同的甲烷流量下,用热丝化学气相沉积方法(HFCVD)在N型(100)单晶硅片上制备了掺硼金刚石薄膜.用扫描电子显微镜(SEM)和拉曼光谱(Raman)对薄膜检测的结果表明,随着甲烷流量的增加,掺硼金刚石薄膜的二次形核增加,晶粒尺寸减小,晶界变得模糊,结晶性下降,非金刚石相增多,过高的甲烷流量导致掺硼金刚石薄膜的球状生长.