OPS-VECSEL芯片的生长与光谱研究

• 作者: 宋国峰 王青 韦欣 黄祖炎
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 垂直外腔面发射激光器 金属有机化合物气相淀积 反射谱 纵向增强因子
• 年，卷（期）: 2009,（10）
• 所属期刊栏目: 器件制造与应用
• 页码范围: 998-1001
• 页数: 4页
• 分类号: TN248.4
• 字数: 2304字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353x.2009.10.016

摘要

光泵浦半导体垂直外腔面发射激光器(OPS-VECSEL)是一种新型激光器,在很多领域都具有广阔的应用前景.采用MOCVD生长了工作波长为980 nm的VECSEL芯片,测量了芯片X射线衍射(XRD)图谱,光致发光(PL)谱和反射谱,结果表明,芯片生长的准确性较高.同时采用物理光学的理论结合实际模型,运用矩阵分析方法计算了VECSEL的反射谱,计算结果与实验结果吻合良好.最后,通过对不同窗口层厚度的纵向增强因子的计算和分析得到了共振结构具有高的峰值增强,反共振结构具有大的增益带宽.在理论上提出,对于该OPS-VECSEL结构,采用共振和反共振结构之间的窗口厚度可以使其稳定工作在特定波长而又不严格限制增益带宽.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王青	中国科学院半导体研究所纳米光电子实验室	83	1420	20.0	35.0
2	宋国峰	中国科学院半导体研究所纳米光电子实验室	22	88	6.0	8.0
3	韦欣	中国科学院半导体研究所纳米光电子实验室	10	38	3.0	6.0
4	黄祖炎	中国科学院半导体研究所纳米光电子实验室	1	2	1.0	1.0