严格耦合波法计算闪耀光栅衍射效率

• 作者: 廖胜 陈为
• 来源期刊: 应用光学
• 学科: 工学
• 关键词: 散射矩阵 严格耦合波法 标量算法 偏振特性
• 年，卷（期）: 2009,（5）
• 所属期刊栏目: 光电系统与工程
• 页码范围: 734-738
• 页数: 5页
• 分类号: TN214
• 字数: 3530字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-2082.2009.05.004

摘要

针对一般标量近似算法精度不高的问题,提出采用S矩阵的严格耦合波的方法计算光栅衍射效率.通过建立完整的闪耀光栅理论模型,对各分层电磁场进行傅里叶级数展开,采用散射矩阵方法求解各谐波系数,完成衍射效率计算.该方法已应用到红外光栅TE和TM 2种模式衍射效率的计算.分析了散射矩阵解决数值运算不稳定的原因,通过与标量近似计算方法进行比较,说明红外光栅衍射偏振特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	廖胜	中国科学院光电技术研究所	34	330	10.0	17.0
2	陈为		6	16	2.0	4.0