高功率直流电弧等离子体喷射法制备的金刚石厚膜中黑色缺陷的研究

• 作者: 刘政 吕反修 唐伟忠 姜春生 郭世斌
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石膜 黑色缺陷 激光标记 晶界
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 页码范围: 1349-1354
• 页数: 6页
• 分类号: TB43
• 字数: 4700字
• 语种: 中文

摘要

借助激光标记的方法,对采用高功率直流电弧等离子体喷射法制备的金刚石膜中的黑色缺陷进行了定点表征.结合使用光学显微镜、激光扫描共焦显微镜、扫描电子显微镜、电子背散射衍射技术等多种表征方法,对同一样品的特定微观标记区域进行了多角度的分析.实验结果表明:金刚石膜内部的黑色缺陷是一种存在于晶界处的孔洞与质量较低的金刚石相的复合体,它的形成应与金刚石膜中某些晶界处的生长环境有关.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕反修	北京科技大学材料科学与工程学院	151	1208	18.0	24.0
2	刘政	北京科技大学材料科学与工程学院	17	139	7.0	11.0
3	唐伟忠	北京科技大学材料科学与工程学院	106	860	16.0	21.0
4	郭世斌	北京科技大学材料科学与工程学院	8	31	3.0	5.0
5	姜春生	北京科技大学材料科学与工程学院	8	22	3.0	4.0