基于MEMS技术的柔性Ni基热敏传感器阵列研制

• 作者: 徐延光 邓进军 马炳和
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 热敏传感器 Ni电阻 柔性基底 电阻温度系数
• 年，卷（期）: 2009,（7）
• 所属期刊栏目: 微/纳工艺、材料与器件
• 页码范围: 697-700
• 页数: 4页
• 分类号: TN212.1
• 字数: 2882字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353x.2009.07.20

摘要

利用Ni材料的高电阻温度系数特性,结合MEMS微加工技术,研究开发了全柔性的Ni基热敏传感器及其阵列.对传感器阵列的材料选择、Ni薄膜电阻的特点以及制备工艺进行了研究.通过油浴升温和电流阶跃响应方法实现了对传感器重要静态、动态参数的测量.实验结果表明,该热敏电阻传感器在5～80 ℃范围内具有电阻温度系数高、热响应速度快的特点.该柔性传感器阵列可方便贴附于曲型表面,为温度、速度、剪应力等快速分布式低侵入测量提供了新型支持手段.