基于干涉条纹的激光准直技术的检测系统

• 作者: 周欣 李咏强 胡长德 诸葛晶昌 齐浩
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 测量与计量 激光准直 干涉条纹 线阵CCD 比对实验
• 年，卷（期）: 2009,（5）
• 所属期刊栏目: 激光与光电子技术应用
• 页码范围: 522-525
• 页数: 4页
• 分类号: TH741
• 字数: 2768字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2009.05.022

摘要

为了获得被测导轨的直线度误差信息,采用半导体激光器发出的激光,经准直扩束后照射到楔形平板上,利用楔形平板上下表面的反射作用,将这束激光分解为交角2α的交叉光束,在这两条平行激光束交叉的范围内产生干涉条纹.将此干涉光作为准直测量的基准,用线阵CCD作为光电转换器件固定在接收靶上;检测接收靶处于被测导轨任一测量点时干涉条纹在接收靶上的位置,得到了该测量点与准直光束的偏移量.进行了重复性实验以及与光电自准直仪的比对实验.在测量长度842mm 时,直线度误差18.96μm,测量长度最远可达14m.结果表明,样机的性能、指标基本达到了预定目标.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡长德	装备指挥技术学院士官系	18	101	5.0	9.0
2	李咏强	装备指挥技术学院士官系	10	41	4.0	6.0
3	诸葛晶昌	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	5	61	4.0	5.0
4	周欣	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	16	143	7.0	11.0
5	齐浩	装备指挥技术学院士官系	1	4	1.0	1.0