交替中间热处理BST薄膜介电性能研究

• 作者: 傅向军 廖家轩 张佳 潘笑风 王洪全 魏雄邦
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 工学
• 关键词: 中间热处理 交替中间热处理 钛酸锶钡薄膜 介电性能
• 年，卷（期）: 2009,（5）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 962-966
• 页数: 5页
• 分类号: TN38
• 字数: 2506字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3724/SP.J.1077.2009.00962

摘要

用溶胶凝胶(Sol-Gel)法制备了三种钛酸锶钡(Ba0.6Sr0.4TiO3,BST)薄膜:常规的四层薄膜,在逐层制备过程中,对首层薄膜进行中间热处理(Preheat-treatment,PT)的四层薄膜及间隔或交替地对奇数层薄膜进行中间热处理(称为交替中间热处理(Alternate-preheat-treatment,APT))的八层薄膜. 用XPS研究薄膜表面成分化学态,用SEM和AFM观察表面形貌及晶化,并进行了介电性能测试. 结果表明,常规薄膜介电性能差;经PT,薄膜裂纹和缩孔显著减少,形貌明显改善,表面非钙钛矿结构显著减少,介电性能明显提高;经APT,薄膜形貌进一步改善,平均晶粒大小约30nm,非钙钛矿结构进一步减少,介电损耗明显降低,介电稳定性和介电强度大幅度提高. APT为制备退火温度低及结构均匀致密的纳米晶BST薄膜提供了新方法,可满足低频实用要求. 退火温度对薄膜厚度的影响也进行了讨论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	廖家轩	电子科技大学电子科学技术研究院	22	106	7.0	8.0
2	魏雄邦	电子科技大学电子科学技术研究院	18	94	6.0	8.0
3	潘笑风	电子科技大学电子科学技术研究院	8	67	6.0	8.0
4	张佳	电子科技大学电子科学技术研究院	9	68	6.0	8.0
5	傅向军	电子科技大学电子科学技术研究院	8	67	6.0	8.0
6	王洪全	电子科技大学电子科学技术研究院	8	67	6.0	8.0