被动隔振技术在超精密领域内应用的初探

• 来源期刊: 民营科技
• 学科: 工学
• 关键词: 隔振 空气弹簧 负刚度系统
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 页码范围: 3
• 页数: 1页
• 分类号: TB535.1
• 语种: 中文

摘要

概述了超精密领域内主要的几种被动隔振技术,包括它们的原理和研究概况.重点介绍了变阻尼的空气弹簧和可变刚度的负刚度系统.