基于弹塑性有限元分析的电镀铜薄膜缺口疲劳断裂特性研究

• 作者: 刘豪 孙国芹 尚德广 李德胜 李承山 马新平
• 来源期刊: 机械强度
• 关键词: 电镀铜薄膜 缺口 疲劳 弹塑性有限元
• 年，卷（期）: 2009,（5）
• 所属期刊栏目: 疲劳·损伤·断裂·失效分析
• 页码范围: 803-807
• 页数: 5页
• 分类号: O346.2|TB115
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9669.2009.05.021

摘要

对11.5 μm厚中间缺口电镀铜薄膜的单向拉伸疲劳断裂特性进行研究.试件采用准LIGA(lithographie, galvanformung, abformung, 光刻、电铸、塑铸的完美结合)工艺制作.试验观测发现,多数电镀铜薄试件断裂发生在缺口根部,断裂表面与缺口Y向对称轴线夹角约成12°,以沿晶断裂为主.利用弹塑性有限元分析,模拟得到断裂危险区域为缺口根部;连接危险区域边界点与缺口曲率中心的边界线,与缺口Y向对称轴线的夹角约成±14.2°范围内,与试样断裂情况相符;缺口根部断裂主要受拉伸应力控制.用Neuber方法所得结果与有限元分析结果进行对比,间接验证有限元分析结果的合理性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	尚德广	北京工业大学机械工程与应用电子技术学院	53	512	13.0	21.0
2	李德胜	北京工业大学机械工程与应用电子技术学院	78	461	14.0	16.0
3	孙国芹	北京工业大学机械工程与应用电子技术学院	26	172	8.0	12.0
4	李承山	北京工业大学机械工程与应用电子技术学院	4	9	2.0	3.0
5	刘豪	北京工业大学机械工程与应用电子技术学院	6	20	2.0	4.0
6	马新平	北京工业大学机械工程与应用电子技术学院	3	18	2.0	3.0