应用自动喷涂技术修复掩模版透明缺陷实验

• 作者: 戴翼戈 董磊
• 来源期刊: 微处理机
• 学科: 工学
• 关键词: 缺陷修复系统 自动喷涂技术 掩模版 透明缺陷修复
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 大规模集成电路设计、制造与应用
• 页码范围: 25-27
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.6
• 字数: 1877字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-2279.2009.02.009

摘要

首先简要介绍了缺陷修复系统中自动喷涂技术的定义,应用自动喷涂技术修复掩模版透明缺陷的优势以及实验目的,然后通过实验确定了对掩模版透明缺陷实现完美修复的自动喷涂参数的最佳组合,最后总结了实验结论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董磊	中国电子科技集团公司第四十七研究所	4	2	1.0	1.0
2	戴翼戈	中国电子科技集团公司第四十七研究所	2	1	1.0	1.0