扫描电镜测量微纳米球形样品平均粒径的测量不确定度

• 作者: 常怀秋 朴玲钰 贺蒙
• 来源期刊: 计量技术
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描电子显微镜 平均粒径 测量不确定度
• 年，卷（期）: 2009,（7）
• 所属期刊栏目: 误差与数据处理
• 页码范围: 71-73
• 页数: 3页
• 分类号: TH74
• 字数: 2626字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0771.2009.07.049

摘要

以标称粒径为600纳米的亚微米球为例,分析了利用扫描电子显微镜测量微纳米球形样品平均粒径的测量不确定度主要来源,并在对各不确定度分量进行分别评估的基础上,给出了扩展测量不确定度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贺蒙		7	47	4.0	6.0
2	朴玲钰		21	225	6.0	14.0
3	常怀秋		4	19	2.0	4.0