纳米楔形光纤探针的制备

• 作者: 杨修文 江锐 石义杰 祝生祥
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光纤探针 楔形 化学腐蚀 挤压变形 压力
• 年，卷（期）: 2009,（9）
• 所属期刊栏目: 显微、测量、微细加工技术与设备
• 页码范围: 557-560
• 页数: 4页
• 分类号: TN253|TN305.2
• 字数: 1782字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2009.09.009

摘要

基于挤压形变的原理,设计了一种用于制备楔形光纤探针的化学腐蚀简易装置.以普通的石英光纤为材料,通过改变自制夹具的松紧程度引起夹具在光纤上挤压力的变化,使光纤发生形变形成楔形,然后用适当比例的氢氟酸腐蚀液,制备出楔形的光纤探针.该法具有重复性高、探针形貌可控、操作方便、实验费用低廉、易于批量生产、受环境的影响较小、获得的探针表面光滑等优点.实验表明,外力越大,挤压形成的光纤楔角越小,楔形光纤顶端的脊越大,楔角为15°～40°,楔脊可达4 μm.