用于壁面剪应力测量的柔性热敏传感器阵列

• 作者: 赵建国 邓进军 马炳和
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 热敏传感器阵列 柔性 聚酰亚胺 电阻温度系数 粘附性 镍
• 年，卷（期）: 2009,（7）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术
• 页码范围: 414-418
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 字数: 1944字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2009.07.006

摘要

阐述了壁面剪应力测量原理及其需求.以Ni为热敏材料、聚酰亚胺为衬底,采用MEMS微加工工艺制作了一种用于近壁传热及流动参数分布测量的全柔性热敏传感器阵列.该传感器阵列的尺寸微小、集成度高、柔性可弯,可用于弯曲壁面剪应力大小与分布测量.针对柔性热敏传感器阵列电阻温度系数太小的问题,本文采用了合适的Ar压强和在溅射过程中衬底加温以及真空退火等办法提高了电阻温度系数,同时考虑并解决了热敏电阻与衬底间的粘附性问题.实验结果表明,在5～80℃,柔性热敏传感器阵列的电阻温度系数可高达4.64 × 10-3/℃,并且具有良好的线性.