红外线与紫外线

• 来源期刊: 中国照明文摘
• 学科: 工学
• 关键词: 紫外线 红外线 红外发光二极管 等离子体光源 远紫外光刻 辐射强度 光学性质
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 页码范围: 26-27
• 页数: 2页
• 分类号: TN36

摘要

红外发光二极管辐射强度的测量;极端远紫外光刻的等离子体光源及其光学性质研究.