一种新型的闭环真空硅微陀螺仪

• 作者: 周百令 夏敦柱 王寿荣
• 来源期刊: 东南大学学报（英文版）
• 学科: 交通运输
• 关键词: 硅微陀螺仪 自激振荡 双闭环检测 标度因素 零偏稳定性
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 页码范围: 63-67
• 页数: 5页
• 分类号: U666.11
• 字数: 1032字
• 语种: 英文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-7985.2009.01.014

摘要

提出了一种新型的硅微陀螺仪闭环控制策略.所设计的硅微陀螺仪工作在10 Pa,采用金属壳CAN封装形式,驱动和检测两模态品质因素高达10000以上,且都采用了基于静电力反馈方法实现闭环.驱动模态采用单边驱动单边检测,尽量使线路简化;检测模态采用双重分解和重构闭环回路.测试结果表明:有用信号和正交信号实现很好的相位解耦,互不影响;在满量程4-300(°)/s、标度因素9.6 mV/((°)·S)的情况下,零偏稳定性已达到28(°)/h;非线性度达到400×10-6;仿真带宽大于100 Hz.这较以前设计的仅在空气下工作的硅微陀螺性能提高了近2个数量级.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周百令	东南大学仪器科学与工程学院	106	1086	17.0	23.0
2	夏敦柱	东南大学仪器科学与工程学院	22	160	8.0	11.0
3	王寿荣	东南大学仪器科学与工程学院	94	1158	19.0	28.0